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LED顯微曝光系統(tǒng) 顯微鏡 LED曝光系統(tǒng) UTA系列，為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設(shè)備。 使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機，即可在涂布光阻的基板上進行數(shù)個微米 分辨率的曝光。 Pattern 形狀可以使用計算機繪圖自由制作。 可在一般環(huán)境操作，樣品外觀及尺寸限制小，價格比一般電子束曝光機更便宜、方便性更高，可以降低研發(fā)成本。